分析仪器电子显微镜爱德华真空泵RV8 RV12 E2M40 E2M80 E2M175应用
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分析仪器的真空系统
有几种类型的真空泵，从旋片泵（RV 和 E2M）、涡旋泵和多级罗茨主泵（nXRi 和 nXLi）到用于分析仪器的涡轮分子泵和离子吸气二级泵。
主泵排气至大气压力并在中低真空度下达到压力；它们可以使用油润滑泵或“干式泵”。
达到高真空度和超高真空度的二级泵需要配套的主泵。所用的真空泵类型取决于分析应用的特定要求。
电子显微镜的真空系统
使用电子显微镜工作的科学家可以识别地球上非常小的物质，这需要运行安静、无振动且可靠的真空泵。
为了获得高分辨率图像，显微镜室中的真空必须具有稳定的高质量，在某些情况下包括 UHV 条件，因此需要使用真空泵。
电子显微镜中使用了多种真空泵技术；常见的是旋片泵、膜片泵、涡旋泵、涡轮分子泵和离子泵。根据显微镜中使用真空泵的位置，必须尽量减少泵产生的振动，以防止对图像造成干扰。在某些 EM 配置（环境扫描 EM）中，泵必须能够以约 10 mbar 的真空度持续抽空水蒸汽环境。
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